Rutenijum Target

Antioksidans, -otporan na koroziju i ravnomjerno-formiranje filma, pružajući visoko pouzdano rješenje za taloženje tankog-filma za aplikacije za poluvodiče i pohranu podataka.

Meta za raspršivanje rutenijuma je meta za raspršivanje plemenitog metala grupe platine proizvedena od rutenijuma visoke -čistoće (Ru) rafinacijom, topljenjem, kovanjem i preciznom mašinskom obradom. Prvenstveno se koristi u procesima magnetronskog raspršivanja fizičkim taloženjem pare (PVD). Ovaj proizvod ima visoku tačku topljenja, visoku tvrdoću, odličnu otpornost na oksidaciju i hemijsku stabilnost, omogućavajući proizvodnju jednoličnih i gustih rutenijumskih filmova. Pronalazi široku primjenu u naprednoj poluvodičkoj memoriji, interkonekcijama integriranih kola, slojevima difuzijskih barijera i uređajima za pohranu i prikaz podataka.

Pošaljite upit

Opis proizvoda

Ova serija rutenijumskih meta proizvedena je od rutenijumskih sirovina visoke{0}}čistoće, postižući visoku gustinu i ujednačenu mikrostrukturu kroz procese topljenja luka i rafiniranja zrna. Proizvodi su dostupni u različitim konfiguracijama, uključujući planarne mete i rotirajuće mete, i podržavaju usluge zadnje ploče za vezivanje indijuma-Elastic Body-, što ih čini pogodnim za aplikacije DC raspršivanja.

Feature

Visoka čistoća, konvencionalna klasa, dostupna u ultra-specifikacijama visoke čistoće.
Visoka tvrdoća, odlična otpornost na habanje i vrhunska otpornost na oksidaciju i koroziju.

Previše visoka tačka topljenja sa odličnom{0}}stabilnošću na visokim temperaturama.
Film pokazuje ujednačeno taloženje i visoku gustinu, što ga čini pogodnim za napredne procese proizvodnje poluprovodnika.

Specifikacije i modeli

Za prilagođene dimenzije, debljinu, čistoću ili tehničke specifikacije, slobodno nas kontaktirajte. Možemo pružiti prilagođena rješenja materijala na osnovu vaše opreme za raspršivanje, zahtjeva premaza i specifikacija dimenzija.

Dimenzija klasifikacije	Vrsta proizvoda	Osnovne karakteristike
Stupanj čistoće	Različiti stepen čistoće	Opća{0}}namjena za poluvodiče, ekrane i memorijske uređaje.
Format proizvoda	Kružna planarna rutenijumska meta	Standardne specifikacije, kompatibilne sa većinom opreme za raspršivanje.
	Rutenijumska meta pravougaonog/blok{0}}oblika	Pogodno za-primenu premaza na velikim površinama.
	Rotirajuća rutenijumska meta	Pogodno za velike{0}}površine, visoko{1}}efikasno taloženje.

Aplikacija

Poluprovodnici: DRAM/MIM kondenzatorske elektrode, interkonektivni slojevi difuzijske barijere.
Napredna pohrana: magnetna memorija, faza-promjena memorije, otporna memorija.
Integrisano kolo: bakarni međukonektni sloj, sloj barijere i logički uređaj.
Uređaji za prikaz: Ravni{0}}displeji, OLED tanke{1}}elektrode.
Optoelektronika i fotonapon: optički premazi, funkcionalni slojevi fotonaponskih ćelija.
Precizna elektronika: električni kontakti-otporni na habanje, debeli-otpornici, senzori.

Popularni tagovi: rutenijumski cilj, Kina rutenijumski ciljni proizvođači, dobavljači, fabrika